上海微电子:中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户

2月7日,上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式,这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。

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